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叁坐标测量机是将被测物体放置叁坐标的测量空间，通过传感器获得被测物体上各测点的坐标值，采用锄耻颈小二乘法或其他计算方法，计算出被测物体几何尺寸和形状误差。各国叁坐标测量机性能检验的标准如下：

JJG 799 – 92         中华人民共和国叁坐标测量机检定规程（试行）

GB/T 16857.2 - 1997   中华人民共和国国家标准

VDI/VDE 2617          德国工程师协会对于坐标测量机的检验规范

CMMA                  坐标测量机生产商协会对于坐标测量机的检验规范

BS1 BS6808            英国标准研究院对于坐标测量机性能检验的方法

B89                   美国国家标准研究院发布的坐标测量机性能评定的推荐标准

JIS B 7440-1987       日本对于坐标测量机精度检测的工业标准

ISO10360 – 2         标准化组织发布的坐标测量机性能评定

ISO 10360-2:1994      测量机的性能评定