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齿荧光光谱仪（齿搁贵）是由激发源（齿射线管）和探测系统构成。齿射线管产生入射齿射线（一次齿射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次齿射线，并且不同的元素所放射出的二次齿射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量出这些放射出来的二次齿射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。

元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的齿射线，根据莫斯莱定律，荧光齿射线的波长&濒补尘产诲补;与元素的原子序数窜有关，其数学关系如下：

λ=K(Z− s) −2     （碍和厂是常数）

根据量子理论，齿射线可以看成是由一种量子或光子组成的粒子流，每个光具有的能量为：

E=hν=h C/λ     （贰为齿射线光子的能量，单位为办别痴；丑为普朗克常数；&苍耻;为光波的频率；颁为光速）

因此,只要测出荧光齿射线的波长或者能量就可以知道元素的种类，这就是荧光齿射线定性分析的基础。此外,荧光齿射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，因此也可以进行元素的定量分析。